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产品名称:X62 D16S-W型抛光机
产品型号:X62 D16S-W型抛光机
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  • 产品概述
  • 产品特点

产品用途

本设备主要用于光学玻璃、陶瓷,硅片、锗片、计算机磁盘基片等电子材料及其他硬脆材料的双面高精度抛光加工,适用于5〃(φ125mm)以下硅片及同尺寸规格异形平行平面材料的双面精密抛光加工。

主要技术参数

3.1、抛光盘尺寸:φ1155mm×φ349mm×50mm

3.2、 游星片参数:英制:齿数Z=200  模数DP12  α=20°

3.3、游星片数量:5

3.4、修正轮数量:4

3.5、抛光直径及片数:φ75/85片、φ100/40片、φ125/25片、φ150/20片;

3.6、下抛光盘转速:060rpm

3.7、整机功率:

主电机:15kWAC380V1460rpm50Hz

搅拌泵:90W

加液泵:1/4HP 70L/min

3.8、设备外形尺寸(长×宽×高):2000mm×1400mm×2670mm

3.9、设备质量:约5500Kg

基本配置

4.1、气缸:                           嘉贸 

4.2、精密减压阀:                    SMC

4.3、电磁阀                          MAC

4.4、减速箱:                         国产

4.5、PLC及文本:                     台达

4.6、变频器:                         施耐德

4.7、轴承:                           国产

精度指标

5.1、下抛盘端面跳动0.08mm

5.2、上、下抛光盘平面度0.03mm

设备的安装

   设备应安装在地面平坦、安装厚度应大于300mm,远离振动源,无灰尘烟雾污染的场所。

    a 温度10-25

    b 相对湿度≦95%

c 电源电压AC380V 50Hz

d 压缩空气源 0.5-0.6Mpa(必须为干燥的清洁空气)