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产品名称:X62 D20B2M-W型双面抛光机
产品型号:X62 D20B2M-W型双面抛光机
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  • 产品概述
  • 产品特点

产品用途

本机主要用于8英寸以下硅片、光学玻璃、陶瓷片、石英晶体及其他半导体材料的双面抛光,也可用于其它硬脆材料的双面高精度抛光加工。

设备基本参数

3.1、   抛光盘尺寸:φ1380mm×φ433mm×50mm

3.2、   游轮参数:公制:Z=170  M=3   α=20°

3.3、   最小抛光厚度:0.40mm

3.4、   下盘转速:     0-60rpm

3.5、   主电机:       18.5kW  AC380V   1450rpm

3.6、   太阳轮电机:   4kW    AC380V   1400rpm

3.7、   抬升电机:     0.75kW  AC380V   1390rpm

3.8、   三相电泵:     1/4HP   AC380V   70L/min

3.9、   外型尺寸:    2700mm×1950mm×2780mm

3.10、   重量:        约7000kg

设备的安装

   设备应安装在地面平坦、安装 厚度应大于300mm,远离振动源,无灰尘烟雾污染的场所。

    a 温度10-25

    b 相对湿度≦95%

c 电源电压AC380V 50Hz

d 压缩空气源 0.5-0.6Mpa(必须为干燥的清洁空气)