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产品名称:X62 D22B3M-U型双面抛光机
产品型号:X62 D22B3M-U型双面抛光机
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  • 产品概述
  • 产品特点

产品用途

本机主要用于硅片、宝石、光学玻璃、陶瓷片、石英晶体及其他半导体材料的双面抛光,也可用于其它硬脆材料的双面高精度抛光加工。

设备基本参数

3.1、  抛光盘尺寸:   φ1486mm×φ458mm×50mm

3.2、  游轮参数:公制:Z=138  M=4   α=20°

3.3、  最小抛光厚度:  0.50mm

3.4、  下盘转速:      0-60rpm

3.5、  主电机:        18.5kW   AC380V      1460rpm

3.6、  齿圈电机:      5.5kW    AC380V      1440 rpm

3.7、  太阳轮电机:    2.2kW    AC380V      1440rpm

3.8、  抬升电机:      0.75kW   AC380V      1390rpm

3.9、  三相电泵:      1/4HP    AC380V      70L/min

3.10、外型尺寸:     2700㎜×2050㎜×2780㎜

3.11、重量:         约9000kg

设备的安装

   设备应安装在地面平坦、安装 厚度应大于300mm,远离振动源,无灰尘烟雾污染的场所。

    a 温度10-25

    b 相对湿度≦95%

c 电源电压AC380V 50Hz

d 压缩空气源 0.5-0.6Mpa(必须为干燥的清洁空气)