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产品名称:X62 S815×305型抛光
产品型号:X62 S815×305型抛光
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  • 产品概述
  • 产品特点

产品用途

本机适用于直径100mm以下的硅片、锗片、砷化镓、铌酸锂等片状材料的单面高精度抛光加工。

设备基本参数

3.1、 抛光盘尺寸:       φ815mm

3.2、粘片盘直径规格:    φ305mm×20mm

3.3、下盘转速:           0-80rpm

3.4、主电机:             7.5kW  AV380V  1460rpm

3.5、最小抛光厚度:   0.20mm

3.6、最大抛光件规格:φ200mm

3.7、外形尺寸:      1080 mm ×1760 mm ×2350mm

3.8、重量:          1800kg

基本配置

4.1、气动元件(电磁阀)                 SMC

4.2、减速器               椿本

4.3、轴承                         国产

4.4、可编程控制器〔PLC                      台达

4.5、四行文本显示器                         台达

4.6、变频器                      台达

4.7、低压电器                               213、魏德米勒等

4.8、旋钮开关、电器开关                               213、和泉等

4.9、主电机                                   国产

设备的安装

   设备应安装在地面平坦,远离振动源,无灰尘烟雾污染的场所。

    a 温度10-25

    b 相对湿度≦95%

c 电源电压AC 380V 50Hz

d 压缩空气源 0.5-0.6Mpa(必须为干燥的清洁空气)