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产品名称:X62 S50D-T型抛光机
产品型号:
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  • 产品概述
  • 产品特点

一、设备用途

该设备主要适用于4-6″蓝宝石、硅片、锗片、铌酸锂、钽酸锂、玻璃等片状硬脆材料的单面高精度抛光加工。

二、主要技术参数

2.1主抛光盘直径                          φ1282mm   

2.2抛光盘直径                             φ485mm

2.3主抛光盘转速                           065rpm

2.4抛光头转速                              065rpm

2.5抛光头数量                              4个

2.6抛光头升降气缸缸径                  φ180mm                    

2.7主抛光盘驱动电机                     18.5kW  1470rpm  380V  

2.8抛光头驱动电机                        1.5kW×4

2.9设备外形尺寸(长××高)       1850mm×1830 mm×2925 mm

2.10设备质量                               6500Kg

三、设备安装条件

3.1温度10-25

3.2相对湿度≦95%

3.3电源电压AC 380V 50Hz

3.4压缩空气源 0.5-0.6Mpa(必须为干燥的清洁空气)

3.5设备应安装在地面平坦、远离振动源、无灰尘烟雾污染的场所。

四、整机精度

4.1基盘端面跳动≤ 0.035mm

4.2基盘平面度≤0.025mm