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产品名称:X62 S36D-T型抛光机
产品型号:X62 S36D-T
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  • 产品概述
  • 产品特点

一、设备用途:

      本公司研发和生产的新系统单面抛光机X62 S36D-T主要应用于2-4”蓝宝石、电子材料半导体硅片、光学材料等金属、非金属硬脆材料的单面高精度抛光加工。

二、设备主要技术参数

1) 抛光盘尺寸:φ914mm×φ170mm×28

2)   承片盘直径:  φ360mm

3)   抛光头升降行程:250mm

4)   红外测温仪控温范围:0-100

5)   最大加载压力:300kgf(即450g/cm2

6)   下盘转速:0-90rpm

7)   上盘转速:0-90rpm

8)   主电机: Y160L/M-4 15KW  380V/50Hz   1450rpm

三、设备安装条件:

设备应安装在地面平坦,远离振动源,无灰尘烟雾污染的场所。

1)温度10-25

2)相对湿度≦95

3)电源电压AC 380V 50Hz

4)缩空气源 0.5-0.6Mpa(必须为干燥的清洁空气)

5)冷却水水压:2kgf/cm2 以下

6)水量:15L/min  温度:712