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产品名称:X61 S36D-T型研磨机
产品型号:X61 S36D-T
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  • 产品概述
  • 产品特点

一、设备用途

该设备主要用于2-4”蓝宝石、电子材料半导体硅片、光学材料等金属、非金属硬脆材料的单面高精度研磨加工。

二、设备主要技术参数

4.1研磨铜盘尺寸:φ868mm×φ244mm×12

    上抛头直径尺寸:φ360mm

     承片盘直径尺寸:φ360mm

4.2上抛头数量:4

4.3下盘转速:0-90rpm

4.4上盘转速:0-90rpm

4.5最大加载压力:300kgf(即450g/cm2

4.6主电机:    Y160L/M-4 15KW  380V/50Hz   1450rpm

4.7上抛头电机:    0.75kw  380V/50Hz   90rpm

4.8下盘减速机:  椿本 TD125H20VDF

4.9减震器:橡胶式减震器1806616M

4.10电源:三相五线制AC380V

4.11气源: 0.40.6MPa

三、设备安装条件

1)设备应安装在地面平坦,远离振动源,无灰尘烟雾污染的场所。

2)温度10-25

3)相对湿度≦95

4)电源电压AC 380V 50Hz

5)压缩空气源 0.5-0.6Mpa(必须为干燥的清洁空气)

6)冷却水水压:2kgf/cm2 以下

7)水量:15L/min  温度:712