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产品名称:X07 M180×700-1D-O型多线切割机
产品型号:X07 M180×700-1D-O
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  • 产品概述
  • 产品特点

一、设备用途

    本设备主要适用于金刚石线高速切割单晶硅、多晶硅及电子级硅、蓝宝石类材料的高速、高效、高精度、多片切割加工。

二、设备主要技术参数

1)   线网长度(mm):700

2)   最大工件尺寸(mm):1×165×165×700,2×165×165×350

3)   最小晶片厚度(μm):100

4)   最大线速度(m/s):3035

5)   主轴轴距(mm):375

6)   设备外形尺寸(长×宽×高)(mm)4000×2500×3050

7)总重(T):11.5

三、设备精度指标

1)   主轴轴向窜动不大于0.005mm

2)   工作台升降全行程内相对于线网垂直度不大于0.02mm

3)   工作台下端在承受100N作用力时,位移不大于0.01mm

4)切割液温度精度在±2℃范围内;

四、设备安装条件

设备应安装在地面平坦,安装厚度应大于300mm,远离振动源,无灰尘烟雾污染的场所。

1)  工作温度:15-25

2)  气源: 0.4-0.6MPa   

3)  相对湿度≤90%

4)  冷水水源: 0.25-0.4MPa   150-200L/min   7-12

5)  电源: AC380V50Hz (三相五线制)

6)  地面承重:不小于30kN/